用于非球面检测的球面计算全息图特性分析

摘要：

通过对凸非球面检测过程中各部分元件对波面影响情况的分析,导出了球面计算全息图各衍射级次空间频率和滤波光阑最小孔径的计算公式, 证明了用球面计算全息图检测凸非球面可以减小计算全息图的特征尺寸,降低计算全息图的制作精度.根据导出公式选择合适的计算全息图的位相函数和滤波光阑孔径,以充分滤掉不需要的级次,实现凸非球面的全孔径检测.具体设计实例与实验结果表明,当选择直径为0.2mm的光阑和线宽在40μm到800μm之间变化的计算全息图时,实现了对孔径110mm, 球面半径500mm, 非球面系数为1的凸非球面镜的全孔径检测,这与分析结果完全吻合.

关键词：计算全息图、凸非球面、非球面检测

所属期刊栏目：31

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60078006

在线出版日期：2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41