衍射频谱法测光栅膜层厚度

摘要：

根据傅立叶光学理论从光栅的衍射频谱中可以反推光栅本身的多种信息,包括其形貌特征.利用矩形相位光栅的傅立叶变换,推导出零级和一级衍射光强和矩形相位光栅膜层厚度之间的函数关系,据此可在测得零级和一级次光强后,推算出光栅膜层厚度.以台阶仪作为标准,该方法的测量误差在4%以内.

关键词：膜厚测量、相位光栅、傅立叶光学、衍射频谱

所属期刊栏目：31

分类号：O438.2;O484.5(光学)

资助基金：浙江省自然科学基金 601133

在线出版日期：2004-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：46-48