10.3969/j.issn.1003-501X.2004.05.001
全数字化激光直写转台系统
为提高极坐标激光直写设备的性能,设计成全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、光强系统的同步.提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计.配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意弧和变宽线条的能力.
激光直写、转台系统、微光学
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TH703;TN256(仪器、仪表)
国家高技术研究发展计划863计划
2004-07-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
1-3,10