全数字化激光直写转台系统

摘要：

为提高极坐标激光直写设备的性能,设计成全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、光强系统的同步.提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计.配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意弧和变宽线条的能力.

关键词：激光直写、转台系统、微光学

所属期刊栏目：31

分类号：TH703;TN256(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,10