f-(θ)物镜非线性扫描误差的检测研究

摘要：

在振镜和f -(θ)线性扫描物镜构成的线性扫描机构中,f -(θ) 物镜的设计、加工误差会引起一定的非线性扫描误差,影响扫描成像的质量.为了检测f -(θ)物镜的非线性扫描误差,使用基于线阵CCD的检测电路和扫描光点位置检测算法进行了实验研究,得到了可用于校正的扫描光点位置以及振镜摆角的对应关系曲线和f -(θ)物镜的非线性扫描误差曲线.

关键词：生物芯片扫描仪、f-(θ)物镜、非线性扫描误差、误差检测

所属期刊栏目：31

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金30227002

在线出版日期：2004-06-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12