三维形貌测量中自动调焦系统的设计

摘要：

在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度.调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数.实验表明本系统自动调焦范围扩大到±150μm,自动调焦精度为±0.3μm,调焦时间为4-8s.

关键词：自动调焦、形貌测量、干涉显微镜、相移

所属期刊栏目：31

分类号：TH742(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：56-59