透镜阵列光刻法消差原理分析

摘要：

透镜阵列光刻法用一个柱面阵列透镜代替常规光刻法中的柱面透镜形成光程差,将由衍射所引起的瞬变图形错开,消除由于光刻模板与被刻光栅之间因间隙引起的衍射误差.用光学传递函数方法说明了透镜阵列消除光刻中衍射误差的原理.实验表明透镜阵列光刻法,可以较好的消除衍射误差,研制出高质量的光栅.

关键词：透镜阵列、光刻、夫琅和费衍射、衍射误差

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50079032

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15