10.3969/j.issn.1003-501X.2004.01.009
光盘基片平整度的相移干涉测量方法
使用工作波长为10.6μm的红外激光平面干涉仪对光盘基片的表面面形进行了移相式干涉法测试,对测试的波面数据进行多项式拟合,并用计算机处理测试结果,实现了光盘平整度的自动化测量.所测光盘基片平整度的峰谷值为7.88μm,均方根值为2.0μm.
平整度测量、相移干涉术、光盘、红外干涉仪
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O439(光学)
2004-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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