瑞奇-康芒法中的一种数据处理方法

摘要：

通过在光瞳面上取点的方法,找出被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,即影响函数.利用最小二乘法求解一组过定线性方程组,求得被检平面镜的面形误差,拟合出被检平面面形.将其与干涉仪直接测得的面形相比较,发现两种方法得到的结果很接近.

关键词：瑞奇-康芒检验、面形测量、最小二乘法、影响函数

所属期刊栏目：31

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-25,31