10.3969/j.issn.1003-501X.2003.06.011
采用面阵CCD对大尺寸轴径进行高精度测量的研究
采用面阵CCD对大尺寸轴径进行高精度的拼接非接触测量,克服了单片面阵CCD测量范围小的缺点,解决了用线阵CCD拼接测量时测量带太窄又不能扩展情况下所带来的问题.面阵CCD进行图像拼接的测量方法,适用于测量128-]35mm的轴径,其测量精度高达±0.01mm.
非接触测量、面阵CCD、图像拼接
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TN386.5(半导体技术)
教育部重点实验室基金
2004-04-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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