10.3969/j.issn.1003-501X.2003.04.014
一种高分辨力、大行程微驱动压电马达
样机采用叠片式压电驱动器作为驱动源,利用一对夹爪与丝杠之间的惯性滑移效应实现纳米级微位移驱动,而用丝杠副实现自锁.微位移测量采用高精度电感式测微仪与光学干涉仪.样机平均位移分辨力为5~15nm,驱动力60N,行程15mm.分析表明,对性能的主要影响因素是驱动脉冲参数及丝杠的爬行现象,这为LSPM的进一步优化提供了依据.
微位移驱动器、压电马达、压电陶瓷
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TM384(电机)
国家高技术研究发展计划863计划
2003-11-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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