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10.3969/j.issn.1003-501X.2002.06.008

误差综合测量的数字化码检仪

引用
介绍了码检仪采用模拟量测量方式的原理、组成及存在的问题;提出了码检仪的数字化途径、原理和所有光栅检测参数的数字化测量,并对数字化测量进行了误差分析.通过对两种测量方式的比较,对数字化测量存在的问题提出了解决办法.

码检仪、数字化测量、误差测量、光栅检验

29

TN761(基本电子电路)

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

28-30,34

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光电工程

1003-501X

51-1346/O4

29

2002,29(6)

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