光干涉法测量微机械零件变形的研究

摘要：

介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究.将准直单色光投射入由一玻璃片和被测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉,由面阵CCD接收.用快速傅立叶变换 (FFT)图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图.该方法可对微小器件的微位移作分辨力为 10nm的测量,并直观的显示测量结果.

关键词：光干涉法、变形测量、微加速度计、机械零部件

所属期刊栏目：29

分类号：O436.1;TG806(光学)

资助基金：国家自然科学基金59575080

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-41