有机改性硅酸盐材料薄膜微光学元件制作研究

摘要：

利用正交实验法研究相关因素对ORMOSILS(有机改性硅酸盐材料)薄膜成膜性的影响,并通过调整陈化时间以优化复制工艺.与光敏胶微光学元件相比,复制出的微光学元件光学性能、力学性能有了较大的改善.

关键词：微光学元件、硅酸盐薄膜、复制

所属期刊栏目：29

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-29