表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究

摘要：

探讨了表面弹性波马达的工作机理和优化设计.采用具有能量循环功能的表面弹性波换能器结构,提高了表面弹性波马达效率,将马达的驱动电压阈值从100V降到了10V以下.在频率10MHz,峰峰值为10V的正弦电压激励下,获得振动幅度为20nm的表面弹性波,马达的无负载速度达到0.34m/s,最大推动力输出达到0.06N.

关键词：表面弹性波马达、微执行器、纳米技术、机理分析

所属期刊栏目：29

分类号：TM35(电机)

资助基金：国家自然科学基金59907005;教育部优秀青年教师资助计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52