10.3969/j.issn.1003-501X.2002.01.005
有机改性硅酸盐材料微光学元件制备研究
通过溶胶-凝胶方法,利用有机硅烷(GLYMO)和正硅酸乙酯(TEOS)复合,制备出有机改性硅酸盐材料(ORMOSILS).该材料适合复制微光学元件,凝胶网络组成分析和相分离研究表明TEOS的预水解对材料性能的重要性.柱面透镜复制结果显示,复制的微光学元件基本保持母版的周期,纵向复制相对误差10%.ORMOSILS突破纯溶胶-凝胶的膜厚极限,避免凝胶干燥收缩引起尺寸的偏差.
微光学元件、有机改性硅酸盐、溶胶凝胶方法、复制
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TN256(光电子技术、激光技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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