光瞳滤波提高投影光刻成像分辨力研究

摘要：

针对投影光刻成像系统在数值孔径足够大时所产生的分辨力和焦深的矛盾，详细研究了光瞳滤波对投影成像对比度的改善情况，根据不同掩模图形设计对应的最优滤波器。研究结果表明，光瞳滤波能大幅度提高投影光刻成像分辨力并增大焦深，是一种比较有效的提高光刻成像分辨力的方法。

关键词：光刻系统、投影光刻、图像分辨力、光瞳滤波

所属期刊栏目：28

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69876041

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：9-11