双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计

摘要：

设计了一种基于双Fabry-Perot干涉仪的新型纳米测量系统，阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点，详细设计了基于模糊控制理论的控制系统，提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米测量的理论依据及实测方法。在此基础上，对系统进行了仿真实验，实验结果充分证明了系统设计及理论依据的正确性。

关键词：纳米测量、Fabry-Perot干涉仪、模糊控制、数学模型

所属期刊栏目：28

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金59775087

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：43-49