用于BGA共面性检测的激光扫描在线测试系统

摘要：

一种用于BGA(Ball GridArray)共面性检测的激光扫描在线测试系统，对扫描中的动态误差进行了实时修正，提出了以三点法为基础的共面性评价方法，并进行了相应的实验研究，取得了满意的结果。

关键词：在线测试系统、球栅阵列芯片、激光扫描、三点法

所属期刊栏目：28

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金69906001

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42