利用灰度图提高Fourier变换轮廓术的测量精度

摘要：

在FTP测量中,常利用π相移方法来消除零频,以避免频谱混叠,提高FTP的测量精度.此时,测量系统中包含相移装置,增加了系统的复杂性.然而,人们常常忽略了灰度图中包含的信息在FTP测量中的作用.本文提出了在FTP测量中利用一帧灰度图来提高测量精度的方法.该方法测量装置简单,又可以达到π相移的效果,在实际的FTP测量中的意义.

关键词：傅里叶变换轮廓术、灰度图、频谱、测量精度

所属期刊栏目：27

分类号：O438(光学)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：55-59