引线键合过程的动力学建模

摘要：

以键合点对换能系统的相互作用为考虑的出发点,建立了有时变阻尼项的动力学模型来反映键合过程.通过Matlab数值仿真研究此模型的特性,并与实测数据对照,发现模型中加载项和粘性项的变化,可对应实际键合的特定阶段,由此证实该模型能够较合理地解释键合过程的强度形成规律,同时有助于对键合机理的研究和对工艺的监测与优化.

关键词：时变粘性阻尼项、动力学模型、键合过程、键合机理

所属期刊栏目：10

分类号：TB4(工业通用技术与设备)

资助基金：国家973项目"20/14nm集成电路晶圆级三维集成制造的基础研究"2015CB057200

在线出版日期：2018-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：180-185