10.3969/j.issn.1001-3539.2023.10.007
FEP含量对PTFE/SiO2复合薄膜性能的影响
将不同添加量的聚全氟异丙烯(FEP)加入到聚四氟乙烯(PTFE)中,用涂覆结合高温烧结工艺制备PTFE/二氧化硅(SiO2)复合薄膜,研究不同添加量的FEP对PTFE/SiO2复合薄膜的微观形貌、密度、介电性能和力学性能的影响.结果表明,随FEP添加量的提高,PTFE/SiO2复合薄膜的密度、介电常数和拉伸强度呈现先升高后下降的趋势,介电损耗因子呈现先下降后升高的趋势,断裂伸长率呈现逐渐下降的趋势.当PTFE∶FEP的质量比为90∶10时,PTFE/SiO2复合薄膜的微观缺陷最少,具有最高的密度、介电常数和拉伸强度,以及最低的介电损耗因子,其密度为2.084 g/cm3,厚度为53.4μm,介电常数为2.3916,介电损耗因子为0.00164,拉伸强度为9.85 MPa,断裂伸长率为18.42%.
聚全氟异丙烯、聚四氟乙烯、二氧化硅、密度、介电性能、拉伸强度、断裂伸长率
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TN304(半导体技术)
2023-11-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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