浆料黏度对涂覆工艺制备PTFE/SiO2薄膜性能影响

摘要：

采用涂覆工艺制备聚四氟乙烯(PTFE)/SiO2复合薄膜,通过调节缔合型增稠剂的用量调节浆料黏度,研究浆料黏度对PTFE/SiO2复合薄膜综合性能的影响.实验结果表明,随增稠剂用量的增大,浆料黏度从155 mPa·s提高至1223 mPa·s(测试转速6 r/min).黏度越大,浆料稳定性越好.随浆料黏度的增大,PTFE/SiO2复合薄膜的厚度呈现减小趋势,由于表面微观缺陷先减少后增多,PTFE/SiO2复合薄膜的密度先增大后减小,拉伸强度和断裂伸长率均呈现先提升后降低的趋势.增稠剂的加入可促进薄膜的流平,减少成膜缺陷,然而在复合薄膜的烧结过程中,过多增稠剂分解挥发又将给薄膜带来缺陷.当增稠剂用量为0.7％时,浆料黏度为930 mPa·s(测试转速6 r/min),浆料稳定系数DC值为92％,制备PTFE/SiO2复合薄膜的平均厚度为50.5μm,薄膜密度最高为2.066 g/cm3,拉伸强度和断裂伸长率分别最高达到5.12 MPa和49.1％.

关键词：涂覆工艺、聚四氟乙烯、黏度、复合薄膜、力学性能

所属期刊栏目：48

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2020-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：75-79