PMMA在空腔铜靶制备中的应用

摘要：

针对整体式空腔铜靶体积很小而不能采用机械加工制造的状况,选用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)作为芯轴,在其表面化学镀铜,制备出空腔铜靶;将PMMA溶解于有机溶剂中制成涂料,用于铜靶的防氧化保护;然后使用有机溶剂将PMMA芯轴及PMMA保护膜溶蚀后可制得空腔铜靶成品.

关键词：聚甲基丙烯酸甲酯、空腔铜靶、化学镀

所属期刊栏目：34

分类号：TQ32

在线出版日期：2007-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42