减小温度效应的精密微操作平台稳健优化设计

摘要：

由于微操作平台往往处于随机变化的温度环境中，提出一种基于田口方法的稳健优化设计以减小温度效应对其性能波动的影响．以一种新型一维微操作平台为对象，采用有限元方法建立计入温度效应的平台热误差模型，并基于该模型分析平台结构参数与热误差之间关系，由此选出对平台热误差影响较大的参数作为控制因子．以热误差为望小特性，温度变化和热膨胀系数为噪声因子，结构参数为控制因子，通过正交试验设计和主效应分析，确定控制因子的最佳水平组合点．通过比较分析优化前与优化后热误差的均值和方差，结果表明它们分别减小了16.03％和12.07％，说明可通过所提出的稳健优化设计方法减小平台的温度效应．

关键词：温度效应、微操作平台、有限元法、稳健设计、田口方法

分类号：TH112

资助基金：国家自然科学基金资助项目51265016；江西省自然科学基金资助项目20122BAB216029．

在线出版日期：2016-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：581-588