新型高精度二维微调反射镜结构设计

摘要：

为了补偿激光器出射光束的漂移,提高激光发射系统的准直精度,设计了一个二维角度微调反射镜机构.该系统采用同基体双层结构,应用小曲率大圆弧面和小倾角平面相切运动实现角度微调,且具有手动/自动两种调节模式.新型二维微调机构除了能达到高精度、高稳定性角度调节之外,且安装方便,体积小,调节轻便,在有、无重力的条件下均能正常使用,既可用于光路的调节,也可用于航空航天、民用工业等其他要求高精度角度调节的领域.

关键词：微调镜、二维、圆弧面、高精度

所属期刊栏目：17

分类号：TH12

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：396-400