表面张力作用下抗粘附的微齿轮结构设计原理研究

摘要：

粘附是微机械中最常见的一种失效现象,一般的微机械结构都极力避免粘附的出现.表而张力是引起微结构粘附的最主要原因.深入研究了表面张力作用下使构件产牛粘附的物理机理.以多品硅微齿轮为例,考虑其在表面张力作用下发生的粘附现象,推导出表面张力作用下抗粘附多晶硅微齿轮结构参数设计公式.结果表明,微齿轮产牛粘附与材料特性(弹性特性,表面特性)、微齿轮结构参数(半径、齿宽)、微齿轮与基体之间的间隙有关.

关键词：表面张力、粘附、微齿轮

所属期刊栏目：16

分类号：TH132.41

在线出版日期：2009-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：112-116