基于MEMS的静电微泵建模与仿真

摘要：

对MEMS中应用广泛的静电微泵进行有限元建模分析.对于涉及多能量域下多场耦合的静电微泵建模,在仿真过程中进行了合理简化.其中在静态分析中,利用圆型薄板的小挠度变形理论和微机电系统中的静电力驱动理论来模拟静电-结构耦合过程;在泵膜的模态分析、谐响应分析以及非线性瞬态分析中,把腔内的流体当作附加质量作用在泵膜上,近似代替流场对泵膜的影响,从而减小计算量,提高了仿真效率.

关键词：微机电系统、有限元法、静电微泵、泵膜

所属期刊栏目：16

分类号：TP211.3(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50475104;浙江省自然科学基金重点资助项目Z106519

在线出版日期：2009-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67