压电微泵性能的终端特性分析及其模拟研究

摘要：

根据压电微泵的结构及其功能可将其划分成6个功能块或子系统:压电片子系统、泵腔、入口阀子系统、出口阀子系统、入口通道子系统和出口通道子系统.对6个子系统建立终端特性模型,并进行有关终端特性分析.最后,将压电微泵子系统的终端特性模型进行了组合,得到整个系统的特性模型.对此进行分析,可以方便地获得压电微泵的性能特性.

关键词：压电微泵、终端特性、子系统

所属期刊栏目：10

分类号：TH301(泵)

资助基金：国家自然科学基金50105020

在线出版日期：2004-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：179-182