双线性振动微陀螺特征频率光学测试和有限元分析

摘要：

微机械陀螺仪特征频率的研究对其设计至关重要.该文运用高速图像采集技术、显微技术和数字图像相关方法,实测了一组微陀螺的固有频率.该测试方法非接触无损测量,测试结构简单,测量精度高.测试结果与有限元计算结果一致,验证了有限元分析方法用于微机械系统的可行性和有效性.对比结果表明,所建立的有限元模型合理,分析结果可靠.最后,利用有限元数值模拟技术研究了微陀螺结构尺寸对特征频率的影响,其分析结果对微陀螺仪的设计具有指导性意义.

关键词：微陀螺、时间序列图像、数字相关、有限元、模态分析

所属期刊栏目：26

分类号：O348;U666(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金10472026;扬州大学自然科学基金JK0513107

在线出版日期：2009-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：195-201