微梳齿驱动性能的耦合仿真研究

摘要：

建立了考虑耦合作用的微梳齿驱动器仿真模型,研究了结构变化对梳齿的驱动性能的影响,并分析了结构基板及斜齿误差和偏移误差对结构驱动效果的影响.结果表明:基板造成的悬浮减小了驱动效果,驱动性能由于斜齿误差的存在而降低,偏移误差造成结构的横向不稳定.

关键词：微梳齿结构、机电耦合、误差、驱动性能、有限元

所属期刊栏目：25

分类号：TP211(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然基金面上项目50775121;国家重点基础研究发展计划"973"项目2003CB716205

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：206-211