一种两端固支微开关梁的静力学分析模型

摘要：

建立了一种两端固支微开关梁的静力变形分析模型,该模型将受电场力作用的两端固支微开关梁的受力变形分为三个阶段:梁受电场力作用、梁中点不受约束的变形阶段;梁受电场力作用、且梁中点变形受约束的变形阶段,即此时在梁的中点还要受到一支反力的作用;梁受电场力和一个附加支反力作用,并在梁的中间一段具有指定的位移和转角的变形阶段;在第二阶段中梁所受支反力的大小及第三阶段中梁所受支反力的大小和位置都与驱动电压有关.在实例中,设计了一种求解各未知量的迭代方法,并给出了部分计算结果,包括:梁中点挠度和驱动电压间的关系、梁中点挠度和梁中点弯矩间的关系、梁长对吸合电压影响、驱动电极长对吸合电压的影响等,从中可得出一些有益的结论.

关键词：微机电开关、两端固支梁、静电力驱动、吸合电压、挠度

所属期刊栏目：23

分类号：O39(应用力学)

在线出版日期：2006-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：42-47,54