TFT-LCD厂房防微振系统的数值仿真研究

摘要：

结合有限元理论和多体动力学理论,创新的提出了一种振动系统的精确计算方法,并在TFT厂房设备隔振中进行了工程实践,经随机振动数据采集分析,该方法对于精密设备的隔振设计具有指导意义.

关键词：微振动、多体动力学、模态综合法、显式动力学

分类号：TP391.9;TU311.3(计算技术、计算机技术)

资助基金：信产部电子发展基金项目

在线出版日期：2008-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：74-78