以经济的投资达到满意的效果——微电子厂房管道设计施工

摘要：

介绍12 7mm(φ5英寸)0.8～1.2μm双极电路生产线对气体、纯水的质量要求,以及如何以经济的投资达到满意的结果.

关键词：超纯水、超纯气体、PVDF(聚偏二氟乙烯)、EP管(电抛光管)、MP管(机械抛光管)、表面光洁度、施工

分类号：TU276.99(建筑设计)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：27-28