氩气压强对涤纶织物表面溅射银膜特性的影响

摘要：

以涤纶纺粘非织造布和平纹布为基底,高纯银为靶材,采用射频磁控溅射法制备纳米银薄膜,研究真空室氩气压强对纳米银膜表面形貌、样品透光性能和导电性能影响.结果表明:以涤纶纺粘非织造布为基底,氩气压强为0.3 Pa时,银膜表面粗糙度和颗粒尺寸最大,团聚生长最明显,压强为0.6 Pa时,银膜导电性能最佳；以涤纶平纹布为基底,氩气压强为0.6 Pa时,银膜表面粗糙度和颗粒尺寸最大,团聚生长最明显,压强为0.3 Pa时,银膜导电性能最佳；沉积纳米银膜的样品对紫外光有较强的吸收能力,氩气压强的变化对样品屏蔽紫外线效果不明显.

关键词：射频磁控溅射、纳米银膜、涤纶织物、原子力显微镜、透光性能、导电性能

所属期刊栏目：33

分类号：TS174(纺织工业、染整工业)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金项目20090093110004

在线出版日期：2012-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-33