熔盐电精炼硅制备多晶硅的NaF-KC1熔盐净化及净化作用

摘要：

采用预电解净化方法,研究了温度、电压、时间等对NaF-KC1熔盐净化的影响,结果发现温度800℃,预电解电压2.5V,预电解时间4h为熔盐净化合适条件.采用四电极法测量了800℃,净化前后NaF-KCl混合熔盐的电导率,计算了活化能,结果发现熔盐净化后电导率提高.进行了恒电位电精炼法制备多晶硅,采用XRD,SEM,EDS和ICP-ms对熔盐净化前后获得的多晶硅进行了表征,发现熔盐净化使多晶硅产品纯度明显改善,纯度达到99.99％.

关键词：NaF-KC1、预电解净化、电导率、电精炼、多晶硅

所属期刊栏目：28

分类号：O643(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项基金资助项目N100302008;辽宁青年博士基金资助项目20111011

在线出版日期：2012-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：221-226