Tecnai 12型透射电镜测角台故障3例

摘要：

对美国Thermo Fisher Scientific公司(原FEI公司)Tecnai 12透射电镜测角台3例故障的原因和维修方法进行了分析,主要介绍了电镜使用中测角台硬件CompuStage最常出现的Tracking error Y故障,通常由测量尺超限、Y轴马达阻力过大或者Y轴马达垫片磨损造成,通过压按测量尺弹回、调换Y轴和X轴马达位置、更换Y轴马达垫片可以解决该故障.

关键词：透射电镜、测角台、CompuStage、维修

分类号：TP391.4;R472;R197.39

在线出版日期：2023-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：117-120