加速电压和束流强度对热敏感材料扫描电镜图像的影响

摘要：

扫描电镜为材料形貌和成分分析中普遍使用的仪器,但部分材料由于导电性及导热性差,在实际观测过程中容易发生形貌变形.本实验以蓝绿藻、有机高分子和金属有机框架材料为样品,研究了不同加速电压和束流条件下对观测样品形貌的影响.实验结果表明对于热敏感材料,电子束总能量在一定范围内时,与束流相比,加速电压对材料的影响更大,优先采用降低加速电压更合适.

关键词：扫描电镜、加速电压、束流、热敏感材料

分类号：TP391.41;TL503.3;O641.4

在线出版日期：2022-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：125-129