聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用

摘要：

近年来，聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB ）因具有独一无二的优势，广泛应用于材料科学、微纳加工、半导体器件制造中。尤其是其精密加工和定位加工的特点，获得了众多研究者的青睐。本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用。

关键词：聚焦离子束扫描电镜(FIB)、双束系统、应用

分类号：TB3;TG1

在线出版日期：2014-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：114-118