193nm光学薄膜激光量热吸收测试及系统校正

摘要：

高精度测量薄膜的吸收系数对于激光光学薄膜研究具有重大意义,而激光量热计是一种可靠灵敏的光学器件吸收测量工具.本文介绍了激光量热计的基本原理与实验装置.考虑到193nm波段的测量应用,讨论了系统的校正操作,包括能量探测器、样品热容、温度漂移、杂散光及热传导校正,以提高测量精度.

关键词：193nm光学薄膜、吸收系数、激光量热计、系统校正

分类号：TN2;TB9

在线出版日期：2011-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64