基于MEMS技术的微型气相色谱仪的研制

摘要：

介绍了一种采用微电子机械系统(MEMS)的新型微型气相色谱仪,重点介绍了微进样系统、微热导检测器(TCD)的设计和制做技术.通过微细加工技术,将微通道、微阀、微检测器等三维器件像IC芯片一样集成在硅片上,并将这些关键器件和常规的毛细管分析柱连用,达到快速、高灵敏度和经济的样品分析.该仪器具有便于携带、功耗低、能在线分析、使用简单等特点.

关键词：微电子机械系统、气相色谱仪、微热导检测器、微进样系统、微细加工

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12