环境扫描电镜可通讯高温样品台的设计与应用

摘要：

介绍了环境扫描电镜可通讯高温样品台的设计与制作.所开发的高温样品台体积小,可加热温度较高,升降温速率的可调范围大.由计算机与可编程控制仪表组成的控制系统具有指令功能强大,操作灵活,可以通讯等特点.本系统在实际应用中具有良好的效果.

关键词：可通讯、高温样品台、环境扫描电镜

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2003-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17