射频功率及工作气压对微型ICP激发源光谱强度的影响

摘要：

利用自制的一种新型基于PCB镀金技术的微型ICP激发源(频率为13.56 MHz)成功激发空气与甲烷等离子体,分析不同工作气压和射频功率对样品气体的激发效果的影响.数据表明,射频功率处于5 ～25 W范围内甲烷谱线强度呈增强趋势,10～25 W范围时空气谱线强度呈增强趋势.样品气体流量改变导致压强变化时光谱信号强度是先增强后减弱,转折点为40 Pa.40 Pa之前时谱线信号强度随压强增大呈上升趋势,但是压强轻微的变化导致信号图斜率的变化非常明显,不适于定量分析.40 ～60 Pa谱线信号强度斜率的变化率较小,适于分析.样品气体定量时,加大载气流量改变压强谱线强度信号的变化无明显规律.由此得出该等激发源激发空气与甲烷等离子体稳定的工作条件:射频功率10 ～25 W,工作气压40 ～60 Pa.

关键词：微型、ICP激发源、射频功率、气压

所属期刊栏目：34

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：河北省科技厅科技攻关计划项目07217124和保定市科学技术研究与发展计划项目06G10资助

在线出版日期：2015-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：989-992