基于显微拉曼光谱的金刚石非晶层厚度检测方法

摘要：

提出了利用激光共聚焦显微拉曼光谱仪测试非晶层厚度的方法.以单晶区与非晶区的拉曼峰值比值为研究对象,研究发现此值与非晶层厚度具有较好的相关性.方法为非晶层测量提供了一种快速、无损、廉价的定量检测途径.实验证明,对于厚度小于50 nm的非晶层,方法检测误差小于1.5nm.

关键词：拉曼光谱、非晶层、聚焦离子束、无损检测、单晶金刚石

所属期刊栏目：33

分类号：O657.3(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金

在线出版日期：2015-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1276-1280