宽离子能量检测范围垂直引入反射式飞行时间质谱仪的研制

摘要：

本实验室研制了国内首台宽离子能量检测范围飞行时间质谱仪.仪器采用紧凑式电子轰击源设计,配合离子透镜系统有效的调制离子流,飞行时间质量分析器采用了离子垂直引入式,双场加速和双场反射以及大尺寸MCP检测装置设计.仪器单离子信号半峰宽约2 ns,仪器分辨率优于1600FWHM,检测实际样品质量范围为1～127 amu(仪器理论质量检测上限优于800 amu),可检测离子能量范围优于2个数量级(3～140 eV).若该TOF质量分析器与短瞬高压脉冲放电离子源耦合联用,可广泛应用于高能离子束的快速检测,如真空阴极放电对制备薄膜、离子注入材料的表征,导电材料的离子电荷态分布以及离子扩散速度的测定等.

关键词：宽离子能量检测范围、电子轰击离子源、飞行时间质谱仪

所属期刊栏目：41

分类号：TN3;O57

资助基金：国家863项目SS2012AA063201

在线出版日期：2013-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1614-1619