纳米尖端场离子化气体传感器的动态测试方法研究

摘要：

制作了一种纳米尖端场离子化气体传感器,以氧化锌纳米尖端为阳极,钨针为阴极,采用皮安表向传感器提供输出波形可控的直流电源,测量流过器件的预击穿电流.由于采用了纳米尖端进行离子化,有效地降低了传感器的击穿电压,提高了传感器的离子化能力,而且避免了氧化锌材料以空气作为背景测试气体时的氧化问题.动态测试预击穿电流的方法提高了器件的实用性.实验结果显示该传感器对乙酸蒸气有较好的响应,而且可以做定量测量.所制场离子化气体传感器适于普通空气条件下的使用,具有良好的应用前景.

关键词：场离子化、动态测试、氧化锌、纳米尖端、预击穿电流

所属期刊栏目：27

分类号：TP606;TP212.1(射流技术（流控技术）)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60604022,60574094,10635070;国家863计划资助项目2006AA03Z309;国家973计划资助项目2007CB936603;博士后基金资助项目20070410794

在线出版日期：2008-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：644-647