小周期金属多层膜厚度评价

摘要：

通过对3种小周期金属多层膜进行低角度X射线衍射分析,采用几种方法计算其单周期厚度及多层膜总厚度,还采用表面轮廓仪及原子力显微镜来评价多层膜的总厚度.通过比较这几种方法的测量结果,提出利用第一布喇格衍射主峰之后的衍射次级小峰来进行小周期多层膜厚度评价是简易可行的.

关键词：多层膜、厚度测量、XRD

所属期刊栏目：25

分类号：O72(X射线晶体学)

资助基金：上海市科委资助项目0359nm006-1;0352nm011

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5