10.3969/j.issn.1002-6495.1999.01.004
微分极化曲线法及对缓蚀剂阳极脱附行为的表征
提出对半对数极化曲线进行微分的方法,得到的微分极化曲线及其特征参数可以更精细地表征缓蚀剂的阳极脱附行为.
微分极化曲线、缓蚀剂、阳极脱附
11
TG174.41(金属学与热处理)
中国科学院资助项目;国家重点实验室基金
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
32-36
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10.3969/j.issn.1002-6495.1999.01.004
微分极化曲线、缓蚀剂、阳极脱附
11
TG174.41(金属学与热处理)
中国科学院资助项目;国家重点实验室基金
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
32-36
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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