气体传感器用Au掺杂WO3基复合涂层的组织及气敏性研究

摘要：

为了提高气体传感器的测试精度,选择等离子喷涂工艺来制备Au掺杂WO3基(WO3/Au)复合涂层,并对复合涂层的组织和气敏性展开分析.结果 表明:在WO3/Au复合涂层的X射线衍射谱图上,只观察到WO3与Au对应的两种衍射峰,没有出现其他物相的衍射峰;相对于纯WO3涂层,WO3/Au复合涂层没有发生颗粒尺寸、结晶度与微观结构的显著改变;WO3/Au复合涂层的吸脱附曲线发生了分离的现象,出现了脱附滞后的情况.当温度上升,气体传感器用纯WO3涂层和WO3/Au复合涂层都出现了响应值先升高到峰值又逐渐降低的现象,其中最大值出现在300℃处;不同于纯WO3涂层,气体传感器用WO3/Au复合涂层可以实现对NO2的快速响应,并获得更短的恢复时间,说明WO3/Au复合涂层具备更优的气敏性.

关键词：等离子体喷涂、WO3涂层、掺杂、显微组织、气敏性

所属期刊栏目：38

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：河南省科技攻关项目;河南省产学研合作科技攻关项目;河南省高等学校重点科研项目

在线出版日期：2020-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：283-288