钼靶材变形量及热处理对薄膜微观组织及性能的影响

摘要：

通过研究靶材变形量及热处理工艺对溅射薄膜的微观组织、表面粗糙度及晶形的影响,结果表明:变形量为80％的钼靶材溅射制备的薄膜晶化程度优于变形量小的靶材溅射薄膜;溅射相同的薄膜厚度,随着靶材变形量的增大,溅射薄膜的方阻越大;1100℃退火靶材溅射薄膜的粗糙度最小,表面颗粒最细小均匀,晶粒取向明显.

关键词：钼、靶材、微观组织、溅射、性能

所属期刊栏目：32

分类号：TG457.6;TG156.2;TN837.93

资助基金：国家科技支撑计划2012BAE06B02

在线出版日期：2014-12-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：328-334,351