10.3969/j.issn.1001-3784.2013.04.007
Ti/Au电极对红外探测器噪声系数的影响研究
Mn-Co-Ni-O系半导体陶瓷是最常见的红外热敏电阻材料,但其与传统的Au电极结合强度不高.本文将Ti/Au双层电极用于半导体陶瓷晶片,研究了Ti/Au电极对界面结合强度和热敏电阻噪声系数的影响规律.研究发现,Ti/Au电极能与半导体陶瓷保持良好的界面结合强度,同时使热敏电阻具有较低的噪声系数;Ti/Au电极影响热敏电阻噪声系数的机理是由于Ti扩散到Au表面形成钛氧化物引起的;在对Ti/Au电极的热处理过程中,Ti与陶瓷晶片基体间发生界面反应,同时Ti元素会向Au薄膜表面扩散;提高Ti/Au热处理温度或增加Au薄膜厚度、减少Ti镀膜厚度均能抑制Ti原子向Au薄膜表面扩散,从而降低热敏电阻的噪声系数.
热敏电阻、噪声系数、Ti/Au电极、界面反应、扩散
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TB381;TN37;TG174.444
国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研基金;中央高校基本科研业务费专项
2013-10-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
273-278,282